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J-GLOBAL ID：200903002841745734
ニオブ酸リチウム単結晶薄膜
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991043945
Publication number (International publication number)：1993000896
Application date： Feb. 18, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：
【要約】【目的】 結晶性, 高い閉じ込め効率, パワー密度が高く、逆に光伝搬損失などは小さい単結晶光導波路を得ること。【構成】 異種元素(Ti, Cr, Fe, Ni, Nd, Mg, Vなど)を含むニオブ酸リチウム単結晶基板上に、結晶転写特性に優れたタンタル酸リチウム単結晶薄膜を形成した擬似基板層を中間層として設け、さらにその上にニオブ酸リチウム単結晶薄膜からなる光導波層を育成して3層(LN-LT-LN)構造とした光導波路とする。しかも、この光導波路は、LN基板-LT薄膜(擬似基板層)-LN薄膜(導波層)が、a軸の結晶格子が互いに格子整合されているものである。
Claim (excerpt)：
ニオブ酸リチウム単結晶基板と、この基板の結晶特性を転写する性質に優れ、異種元素を含有する単結晶薄膜からなる擬似基板層と、そしてこの擬似基板層の単結晶上にニオブ酸リチウム単結晶薄膜とを順次に積層してなる3層構造のニオブ酸リチウム単結晶薄膜。
IPC (4)：
C30B 29/30
, G02B 6/12
, G02F 1/35 505
, C30B 19/00
