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J-GLOBAL ID:200903002858947829
液晶表示素子用透明導電層の修正法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992198038
Publication number (International publication number):1994043470
Application date: Jul. 24, 1992
Publication date: Feb. 18, 1994
Summary:
【要約】【目的】液晶表示素子の製造歩留りが向上して製造コストが低減する【構成】透明基板上に薄膜形成法により透明導電層を形成した後に透明導電層内の異物の有無を確認し、異物があった場合に透明導電層の異物含有領域に透明導電層用のエッチング液を滴下するか、もしくはレーザー光を照射して、その異物を除去するとともに透明導電層に非成膜領域を成し、然る後に非成膜領域に所定形状のマスクを用いた薄膜形成法により透明導電層を形成する液晶表示素子用透明導電層の修正法。
Claim (excerpt):
透明基板上に薄膜形成法により透明導電層を形成した後に該透明導電層内の異物の有無を確認し、異物があった場合に透明導電層の異物含有領域に透明導電層用のエッチング液を滴下するか、もしくはレーザー光を照射して、その異物を除去するとともに透明導電層に非成膜領域を成し、然る後に該非成膜領域に所定形状のマスクを用いた薄膜形成法により透明導電層を形成する液晶表示素子用透明導電層の修正法。
IPC (2):
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