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J-GLOBAL ID：200903002895641004

走査型電子ビーム顕微鏡

Inventor：
マスナゲッティ・ダグラス・ケイ.

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コンシナ・ステファノ・イー.

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サン・スタンレイ・エス.

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エヌジー・ワイマン

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アドラー・デイビッド・エル.

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Applicant, Patent owner：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

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Agent (1)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000569419
Publication number (International publication number)：2002524827
Application date： Sep. 02, 1999
Publication date： Aug. 06, 2002
Summary：
【要約】【課題】【解決手段】 走査型電子顕微鏡(SEM)により試料の画像を生成する方法及び装置を開示する。このSEM(200)は、ほぼ試料(222)の方向に電子ビーム(203)を向けるソースユニット(202ないし220)と、試料(222)から放出された粒子(205)を検出する検出器(224)と、放出された粒子(205)から試料(222)の画像を生成する画像生成器(234ないし242)とを有する。画像の特徴は、画像が生成される条件により制御される。試料は、第一の画像段階(302、402)中に、第一の画像を生成する第一の条件群(252)の下で走査される。この試料はその後、セットアップ段階(304、404)中に、第二の条件群(254)の下で走査される。第二の条件群は、試料の電荷を制御するために選択される。この試料はその後、第二の画像段階(306、406)中に、第二の画像を生成する第一の条件群(252)の下で走査される。第二の画像の特徴は、第一及び第二の条件群により制御される。
Claim (excerpt)：
試料の一部の方向に電子ビームを向けるソースユニットと、試料から放出された粒子を検出する検出器と、放出された粒子から試料の画像を生成する画像生成器とを有する走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて試料の画像を生成し、該画像の特徴は、画像生成条件により制御される画像生成方法であって、 第一の画像段階中に第一の画像を生成するために、第一の条件群の下で前記試料を走査するステップと、 該第一の画像段階後に実行されるセットアップ段階中に、試料の電荷を制御するために選択される第二の条件群の下で、前記試料を走査するステップと、 該セットアップ段階後に実行される第二の画像段階中に、第二の画像を生成するために前記第一の条件群の下で試料を走査するステップであって、該第二の画像の特徴が第一及び第二の条件群により制御されるステップと、 を備える画像生成方法。
IPC (6)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/248 ,  H01L 21/66
FI (6)：
H01J 37/28 B ,  H01J 37/20 H ,  H01J 37/22 502 F ,  H01J 37/22 502 G ,  H01J 37/248 B ,  H01L 21/66 J
F-Term (20)：
4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB05 ,  4M106DB12 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C030BC04 ,  5C030CC07 ,  5C033FF03 ,  5C033UU01 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)
  • 走査型電子顕微鏡およびその観察方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-335986   Applicant：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社, 株式会社日立サイエンスシステムズ

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