位置決め装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：森哲也 , 内藤嘉昭 , 崔秀▲てつ▼
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006313823
Publication number (International publication number)：2007054953
Application date： Nov. 21, 2006
Publication date： Mar. 08, 2007
Summary：

【課題】高精度の位置決めと小型化が可能な位置決め装置を提供する。【解決手段】テーブル2の下面に固定されてテーブル2を基台1に対して浮上支持する軸受3と、テーブル2のX方向に延在する一方の側面2a側に配置されてテーブル2をX方向に移動可能に案内する第1の直線案内軸受5と、該軸受5をY方向に進退駆動させる第1のアクチュエータ6と、反対側の側面2b側に配置されてテーブル2のX方向への移動を許容すると共に、テーブル2を前記軸受5側に付勢する第1の付勢手段10と、テーブル2のY方向に延在する一方の側面2c側に配置されてテーブル2をY方向に移動可能に案内する第2の直線案内軸受7と、該軸受7をX方向に進退駆動させる第2のアクチュエータ8と、反対側の側面2d側に配置されてテーブル2のY方向への移動を許容すると共に、テーブル2を前記軸受7側に付勢する第2の付勢手段20とを備える。【選択図】図1

Claim 1：

テーブルを基台に対してX方向に進退させると共に該X方向と同一平面上で直交するY方向に進退させて、該テーブルを任意の位置に位置決めする位置決め装置において、前記テーブルと前記基台との間に配置され、該テーブルを基台に対して浮上支持するテーブル支持軸受と、前記テーブルのX方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをX方向に移動可能に案内する第1の直線案内軸受と、該第1の直線案内軸受をY方向に進退駆動させる第1のアクチュエータと、前記テーブルのX方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのX方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第1の直線案内軸受側に付勢する第1の付勢手段と、前記テーブルのY方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをY方向に移動可能に案内する第2の直線案内軸受と、該第2の直線案内軸受をX方向に進退駆動させる第2のアクチュエータと、前記テーブルのY方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのY方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第2の直線案内軸受側に付勢する第2の付勢手段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (4)：

B23Q 1/62 , F16C 32/06 , F16C 29/00 , B23Q 1/38

FI (4)：

B23Q1/62 C , F16C32/06 A , F16C29/00 , B23Q1/38 Z

F-Term (18)：

3C048BC02 , 3C048CC07 , 3C048DD06 , 3C048EE07 , 3J102AA02 , 3J102BA05 , 3J102BA11 , 3J102BA14 , 3J102CA11 , 3J102CA19 , 3J102EA02 , 3J102EA07 , 3J102EA18 , 3J104AA52 , 3J104AA79 , 3J104DA13 , 3J104DA16 , 3J104EA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平1-242989
特開昭59-129636
特開昭61-120212

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