Pat

J-GLOBAL ID：200903002909593334

スタンパー複製用盤の製造方法および光学記録媒体の製造方法

Inventor： 増原 慎
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999059045
Publication number (International publication number)：2000256889
Application date： Mar. 05, 1999
Publication date： Sep. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】 一枚の原盤あるいは基板上に、異なる深さの2以上の種類の微細凹凸を簡便な方法で、最適な深さに高精度に形成する。【解決手段】 原盤10上の第1の領域21に深さd1 の微細凹凸パターン10aを形成し、第2の領域22には、d1 と異なる深さの、深さd2 の微細凹凸パターン12aを形成する。

Claim (excerpt)：

原盤上の第1の領域に、深さd1 の微細凹凸パターンを形成する工程と、上記原盤上に、フォトレジスト層を塗布形成する工程と、上記原盤上の少なくとも第2の領域に、深さd2 の微細凹凸パターンを形成する工程とを有することを特徴とするスタンパー複製用盤の製造方法。

IPC (2)：

C25D 1/00 321 ,  G11B 7/26 511

FI (2)：

C25D 1/00 321 ,  G11B 7/26 511

F-Term (8)：

5D121AA02 ,  5D121AA09 ,  5D121BB06 ,  5D121BB07 ,  5D121BB08 ,  5D121BB22 ,  5D121CB07 ,  5D121DD07