超狭帯域化フッ素レーザ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木村高久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169758
Publication number (International publication number)：2000357836
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】1ラインのみで発振し、またそのラインの波長幅を約0.2pm程度に狭帯域化することができ、さらにレーザ出力の低下を抑制した超狭帯域化フッ素レーザ装置を提供する。【解決手段】エタロン16では、波長λ1=157.6299nmの強い発振線L1の中心に、最大透過波長λaが合わせられる。このとき、エタロン16においては、波長λ2=157,523.3pmの弱い発振線L2の中心波長は、2つの隣り合う最大透過波長λb、λcのほぼ中間になる。従って、弱い発振線L2に対してエタロン16は大きな損失となり、フッ素レーザ光は、波長幅が約0.2pmで強い発振線L1の成分が90%以上になる。

Claim (excerpt)：

フッ素レーザの発振レーザ光を露光装置の光源として供給する超狭帯域化フッ素レーザ装置であって、入射光の波長に応じて周期的に透過率または反射率が変化する共に、前記フッ素レーザの発振レーザ光を狭帯域化する波長選択素子を備え、前記波長選択素子は、前記フッ素レーザにおける波長及び光強度が異なる2つの発振線のうちの光強度が強い第1の発振線の中心波長が、自己の素子における1つの選択波長に位置するとき、当該第1の発振線よりも光強度が弱い第2の発振線の中心波長が、自己の素子における隣接する2つの選択波長の間に位置すべく、周期的に透過率または反射率が変化する光学素子で形成されていることを特徴とする超狭帯域化フッ素レーザ装置。

IPC (2)：

H01S 3/137 , H01S 3/223

FI (2)：

H01S 3/137 , H01S 3/223 Z

F-Term (15)：

5F071AA07 , 5F071EE01 , 5F071FF09 , 5F071JJ04 , 5F071JJ10 , 5F072AA07 , 5F072JJ04 , 5F072JJ13 , 5F072KK01 , 5F072KK03 , 5F072KK04 , 5F072KK08 , 5F072KK15 , 5F072RR05 , 5F072YY09

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