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J-GLOBAL ID：200903002930885922

真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材

Inventor： 福田 承生 ,  島村 清史 ,  松村 勲
Applicant, Patent owner： 福田 承生 ,  株式会社オプトロン
Agent (1)： 岡部 正夫 (外13名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999288352
Publication number (International publication number)：2001108801
Application date： Oct. 08, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】 潮解性、へき開性が低く、高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材を提供する。また、複屈折や歪みのない高い結晶の均質性を有すると共に、低い温度で製造可能で生産性に優れ、製造コストを低減できる真空紫外領域用光学部材を提供する。さらに、高い耐久性と薄膜特有の波長特性を実現できる光学部材用コーティング材を提供する。【解決手段】 式:KMF3(式中、Mは、Ca、MgまたはSrからそれぞれ独立して選択される。)で表される結晶からなる真空紫外領域用光学部材、および、このフッ化物結晶からなる光学部材用コーティング材。

Claim (excerpt)：

式:KMF3(式中、Mは、Ca、MgまたはSrからそれぞれ独立して選択される。)で表される結晶からなる真空紫外領域用光学部材。

IPC (3)：

G02B 1/02 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/10

FI (3)：

G02B 1/02 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/10 Z

F-Term (7)：

2K009AA00 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  4G077AA02 ,  4G077BA07 ,  4G077BE02 ,  4G077HA01