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J-GLOBAL ID:200903002933886695

半導体試験装置の自己診断装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991153140
Publication number (International publication number):1993002044
Application date: Jun. 25, 1991
Publication date: Jan. 08, 1993
Summary:
【要約】【構成】 半導体素子の動作を試験するために用いられ制御手段(汎用コントロール回路9及び制御回路12)を有する半導体試験装置1と、半導体試験装置1に接続され制御手段の指令に従って半導体試験装置1の機能を診断する診断ボード2′とを備えた半導体試験装置の自己診断装置において、診断ボード2′が、内部の論理が変更可能な可変論理回路素子13を有することを特徴としている。【効果】 診断が短時間に行え、故障箇所の特定と故障の種類の特定とが容易な半導体試験装置の自己診断装置が得られる効果がある。
Claim 1:
半導体素子の動作を試験するために用いられ制御手段を有する半導体試験装置と、前記半導体試験装置に接続され前記制御手段の指令に従って前記半導体試験装置の機能を診断する診断手段とを備えた半導体試験装置の自己診断装置において、前記診断手段が、内部の論理が変更可能な可変論理回路を有することを特徴とする半導体試験装置の自己診断装置。
IPC (2):
G01R 31/00 ,  G01R 31/26

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