Pat
J-GLOBAL ID：200903002941046469
表面電位測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995009536
Publication number (International publication number)：1996201462
Application date： Jan. 25, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 原子間力検出信号と静電気力検出信号の相互干渉をなくした表面電位顕微鏡を提供する。【構成】 カンチレバー1の変位は、変位計2によって検出される。その出力は、低域通過フィルタ4を通過した後、アンプ5で増幅後、圧電振動子6に入力され、カンチレバーの第1共振周波数で発振する発振回路を構成する。発振回路の出力は、周波数検波器7に入力され、その出力は、制御装置8に入力される。制御装置は、発振周波数が一定値になるように試料探針間距離を制御する。カンチレバー変位信号をアンプで増幅した後にロックインアンプ14に入力で探針に印加する交流電圧信号と同一周波数成分の振幅を検出する。これが0となるように探針に印加する直流電圧を制御装置15で制御する。
Claim (excerpt)：
a) 先端に導電性探針を有するカンチレバーと、b) 該カンチレバーの基本共振モードの共振周波数を検出する手段と、c) 該カンチレバーの2次以上の共振モードの振幅を検出する手段と、d) 該カンチレバーを力学的に励振する手段と、e) 該導電性探針に直流電圧信号及び交流電圧信号を重畳して印加する手段と、f) 該直流電圧信号を所望の値に制御する手段と、g) 試料と該導電性探針を相対的に試料面内で走査する手段と、h) 該試料と該導電性探針との距離を所望の値に制御する手段と、を有することを特徴とする表面電位測定装置。
IPC (4)：
G01R 29/12
, G01N 37/00
, G01R 31/302
, H01L 21/66
