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J-GLOBAL ID：200903002942259008

レーザ変位計のレーザ干渉計を用いた動的線形性計測方法及び計測装置

Inventor：
梅田 章

About 梅田 章


Applicant, Patent owner：
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006161892
Publication number (International publication number)：2006322941
Application date： Jun. 12, 2006
Publication date： Nov. 30, 2006
Summary：
【課題】 産業上において重要な分野で利用されているレーザ変位計について、レーザ干渉計を用いて動的線形性を正確且つ容易に計測し、評価できるようにする。【解決手段】 金属棒の一端部に二重発射管から同心円上の2個の飛翔体を単独に、及び同時に又は微少な所定時間間隔で衝突させて金属棒内に弾性波パルスを発生させる。各飛翔体の衝突で発生した弾性波パルスが金属棒の他端部に到達したときに生じる端面の運動速度及びひずみを、評価対象となるレーザ変位計で計測する。また基準となるレーザ干渉計で計測し、計測信号を演算し、また適宜補正を行う。その演算結果とレーザ変位計の計測値を時間領域及び周波数領域で比較することによりレーザ変位計の動的線形性を計測し、評価を行う。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
金属棒の第1端面に第1の飛翔体のみ、及び第2の飛翔体のみ、並びに前記第1及び第2の両飛翔体を同時に或いは微小時間差をもって衝突させて金属棒内部に弾性波パルスを発生させ、 前記各衝突により発生した弾性波パルスが金属棒の前記第1端面の反対側の第2端面に到達したときに生じる第2端面の動的変位を、レーザ干渉計と、評価対象となるレーザ変位計とで計測し、 前記レーザ干渉計の信号と、前記レーザ変位計の信号とを、時間領域または周波数領域で比較することにより、レーザ変位計の動的線形性を計測することを特徴とするレーザ変位計のレーザ干渉計を用いた動的線形性計測方法。
IPC (4)：
G01S 7/48 ,  G01C 3/00 ,  G01B 11/16 ,  G01H 9/00
FI (4)：
G01S7/48 Z ,  G01C3/00 120 ,  G01B11/16 Z ,  G01H9/00 C
F-Term (32)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA65 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065QQ44 ,  2F112AD10 ,  2F112BA20 ,  2F112CA13 ,  2F112DA25 ,  2F112FA50 ,  2G064AB08 ,  2G064BA11 ,  2G064BC06 ,  2G064BC32 ,  2G064CC51 ,  5J084AA05 ,  5J084AA06 ,  5J084AB05 ,  5J084AD04 ,  5J084AD08 ,  5J084AD13 ,  5J084BA03 ,  5J084CA33 ,  5J084DA01 ,  5J084DA02 ,  5J084DA07 ,  5J084EA19 ,  5J084FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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