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J-GLOBAL ID：200903002953670087

位置測定装置、および該位置測定装置を備えた位置制御装置

Inventor： 紫藤 俊一 ,  八木 隆行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997281410
Publication number (International publication number)：1999101633
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、プローブ基板と試料基板との距離測定を複数点で行う場合等に際して、構造が簡単で、系の複雑化等に簡単に対応できる位置測定装置、および該位置測定装置を備えた位置制御装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の位置測定装置は、基板とそれに対向するプローブとの間の距離を求める位置測定装置であって、前記プローブは抵抗体で構成されており、前記プローブと前記基板とに同時に照射されたレーザ光によって変化する前記抵抗体の抵抗値を、抵抗測定手段によって測定し、その測定された抵抗値により前記プローブと前記基板の間の距離を算出することを特徴とするものであり、また、本発明の位置制御装置は、上記位置測定装置を備えたことを特徴とするものである。

Claim 1：

基板とそれに対向するプローブとの間の距離を求める位置測定装置であって、前記プローブは抵抗体で構成されており、前記プローブと前記基板とに同時に照射されたレーザ光によって変化する前記抵抗体の抵抗値を、抵抗測定手段によって測定し、その測定された抵抗値により前記プローブと前記基板の間の距離を算出することを特徴とする位置測定装置。

IPC (3)：

G01B 21/00 ,  G01N 37/00 ,  G11B 9/00

FI (3)：

G01B 21/00 Z ,  G01N 37/00 G ,  G11B 9/00