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J-GLOBAL ID：200903002963743350
紫外線受光デバイスおよびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福村 直樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992142975
Publication number (International publication number)：1993335613
Application date： Jun. 03, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は小型で紫外領域に感度のピークを有する光センサとして有用な紫外線受光デバイス及びその製造方法を提供することにある。【構成】 本発明の紫外線受光デバイスは、導電性または絶縁性基材上にダイヤモンド膜を接合すると共に、少なくとも該ダイヤモンド膜上に電極を設けてなり、該ダイヤモンド膜が、CO/H2 系原料ガスを用いて気相法により合成されてなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
導電性または絶縁性基材上にダイヤモンド膜を接合するとともに、少なくとも該ダイヤモンド膜上に電極を設けてなり、該ダイヤモンド膜が、一酸化炭素と水素との混合物または一酸化炭素と水素と二酸化炭素、酸素、および水よりなる群から選択される少なくとも一種との混合物を原料として気相法により合成されてなることを特徴とする紫外線受光デバイス。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 31/08 Z
, H01L 31/00 B
Cited by examiner (6)
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