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J-GLOBAL ID：200903002964063263

電気光学装置の検査装置及び検査方法、並びに電気光学装置の製造方法

Inventor：
今枝 千明

About 今枝 千明

, 
谷岡 健一

About 谷岡 健一


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 上柳 雅誉 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001177147
Publication number (International publication number)：2002366055
Application date： Jun. 12, 2001
Publication date： Dec. 20, 2002
Summary：
【要約】【課題】 反射型の液晶装置などの電気光学装置の製造工程において、液晶層による反射光を効率的に受光して高精度の検査及び調整を行う。【解決手段】 電気光学パネル(10)に対して、検査用の照明光として所定状態の偏光(Li)が照射される。この偏光は、電気光学パネルを構成する基板表面(10b)により反射されるとともに、該基板を透過して電気光学物質層(10a)によっても反射される。これら反射光(Lr)は分離手段に至り、基板により反射された光(L1、L2)が遮断されるとともに、電気光学物質層により反射された光(L3)が分離手段(26)を通過する。分離手段(26)を通過した光が受光されると、それに対応する検出信号が出力され、検査及び調整が行われる。
Claim (excerpt)：
電気光学パネルに対して所定状態の偏光を照射する光照射手段と、前記電気光学パネルにより反射された反射光のうち、前記電気光学パネルの基板により反射された光を遮断するとともに、電気光学物質層により反射された光を通過させる分離手段と、前記分離手段により通過された光を受光し、検出信号を出力する光検出手段と、を備えることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
IPC (4)：
G09F 9/00 352 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/13357
FI (4)：
G09F 9/00 352 ,  G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/13357
F-Term (20)：
2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088HA01 ,  2H088HA06 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20 ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA41Z ,  2H091FA42Z ,  2H091FA45Z ,  2H091FB07 ,  2H091FC30 ,  2H091GA01 ,  2H091GA11 ,  2H091LA30 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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