複合硬質膜およびその膜の成膜方法ならびにその膜を被覆した耐摩耗性部材

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：深見久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997005584
Publication number (International publication number)：1998204658
Application date： Jan. 16, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】高硬度化、耐摩耗性および表面保護機能向上のため、各種工具、機械部品等の基材表面の耐摩耗性を著しく向上させることができる複合硬質膜およびその製造方法ならびにその膜を表面に被覆した耐摩耗性部材を提供する。【解決手段】図1に示す成膜装置を用いて成膜される第1化合物および第2化合物を含む複合硬質膜であって、第1化合物が4a族、5a族、6a族、鉄およびCoからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物または硼化物のいずれかであり、第2化合物がB、CおよびSiからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物または炭化物のいずれかであり、第1化合物および第2化合物のそれぞれが粒構造を有している。

Claim (excerpt)：

第1化合物および第2化合物を含む複合硬質膜であって、前記第1化合物が4a族、5a族、6a族、鉄およびCoからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物または硼化物のいずれかであり、前記第2化合物がB、CおよびSiからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物または炭化物のいずれかであり、前記第1化合物および前記第2化合物のそれぞれが粒構造を有する、複合硬質膜。

IPC (2)：

C23C 30/00 , C23C 14/06

FI (5)：

C23C 30/00 C , C23C 14/06 A , C23C 14/06 B , C23C 14/06 H , C23C 14/06 P

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

耐摩耗性被膜とその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-095212 Applicant：住友電気工業株式会社

Cited by examiner (1)

耐摩耗性被膜とその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-095212 Applicant：住友電気工業株式会社

Return to Previous Page