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J-GLOBAL ID：200903002970920640
抵抗膜型透明タッチパネル用電極部材及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998064751
Publication number (International publication number)：1999250756
Application date： Feb. 27, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：
【要約】【課題】 抵抗膜型透明タッチパネル用電極部材において、特に透明性とペン(入力摺動)耐久性のより改良した該部材とその製造方法の提供。【解決手段】 該部材は、透明基体1上に、透明導電性金属酸化物からなる抵抗膜層2、二酸化ケイ素による薄膜層3、及び前記金属酸化物からなる抵抗膜層4とが、順次積層されてなる3層構造。これは、例えばPETフィルム、ポリカーボネート板の片面に、まず、ITOを200〜1000Åスパッタ蒸着してITO抵抗膜層(下層)を設け、次に該抵抗膜層上にペルヒドロポリシラザンをコーティングした後、化学的分解処理し、二酸化ケイ素薄膜層(中間層)200〜1000Å形成し、更に該薄膜層上に該ITOによって同様にスパッタ蒸着して、膜厚50〜400ÅのITO抵抗膜層(上層)を形成し、積層して製造する。
Claim (excerpt)：
透明基体(1)上に、透明導電性金属酸化物からなる抵抗膜層(2)、二酸化ケイ素よりなる薄膜層(3)及び透明導電性金属酸化物からなる抵抗膜層(4)とが順次積層されてなることを特徴とする抵抗膜型透明タッチパネル用電極部材。
IPC (6)：
H01H 11/04
, B32B 9/00
, C23C 28/04
, G06F 3/033 360
, H01H 13/70
, C23C 14/08
H01H 11/04 B
, B32B 9/00 A
, C23C 28/04
, G06F 3/033 360 H
, H01H 13/70 E
, C23C 14/08 N
