Pat

J-GLOBAL ID：200903002992795822

表面検査装置

Inventor： 森本 勉 ,  住江 伸吾 ,  和佐 泰宏 ,  高岡 克也 ,  高橋 英二
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998003934
Publication number (International publication number)：1999201905
Application date： Jan. 12, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 検査対象物表面のシミなどの低反射部に影響されることなく,検査対象物表面の凹凸状態のみを正確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。【解決手段】 光源2の位置をLa,Lbに移動可能に構成する。これにより,CCDカメラ8で得られる各画像は,検査対象物表面1からの反射光のうち,欠陥部(凹凸部)の異なる一部分からの反射光のみがピンホール6に遮られ,上記CCDカメラ8での受光が阻止され,その部分が暗部として現れる。即ち,各画像毎に同一凹凸部の異なる部分が暗部として現れる。その際,検査対象物表面1の低反射部についても画像上に暗部として現れるが,これは全画像に共通に現れる。画像処理装置11では,上記各画像の輝度分布の差が計算される。

Claim (excerpt)：

検査対象物の表面に平行光を投光する投光光学系と,上記投光光学系から投光され上記検査対象物の表面で反射された反射光の光軸方向に配置され,上記反射光を受光する受光面とを具備し,上記受光面で受光した反射光の輝度分布に基づいて上記検査対象物の表面の凹凸状態を検査する表面検査装置において,上記検査対象物の表面からの反射方向の異なる複数の反射光をそれぞれ個別に上記受光面に入射させる反射光選択手段と,上記反射光選択手段によって上記受光面で個別に受光された上記複数の反射光の輝度分布の差に基づいて,上記表面の凹凸状態を検出する検出手段とを具備してなることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 102

FI (2)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 102 Z