Pat
J-GLOBAL ID:200903003003794886
分断装置および分断方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003167568
Publication number (International publication number):2005001264
Application date: Jun. 12, 2003
Publication date: Jan. 06, 2005
Summary:
【課題】加圧ノズル2から吹き付けられる高圧ガス3および吸引ノズル9による真空吸引力10を用いて、スクライブ機構、搬送機構およびブレイク機構を兼用することで、単純な構成でメンテナンス性に優れた分断装置および分断方法を提供する。【解決手段】分断装置は、板状部材としての基板1の表面に溝5を形成する溝形成手段としての硬質工具4と、溝5から基板1の厚さ方向に亀裂7を進展させて基板1を分断する分断手段のみならず搬送手段としての機能も有する加圧ノズル2および吸引ノズル9とを備える。【選択図】 図4
Claim (excerpt):
板状部材の表面に溝を形成する溝形成手段と、
前記溝から前記板状部材の厚さ方向に亀裂を進展させて前記板状部材を分断する分断手段と、
を備えた分断装置。
IPC (4):
B28D5/00
, B26F3/00
, B28D5/02
, C03B33/03
FI (4):
B28D5/00 Z
, B26F3/00 A
, B28D5/02 A
, C03B33/03
F-Term (23):
3C060AA08
, 3C060CB09
, 3C060CB14
, 3C060CB15
, 3C069AA02
, 3C069AA03
, 3C069BA00
, 3C069BA04
, 3C069BA07
, 3C069BB01
, 3C069BB04
, 3C069BC02
, 3C069CA05
, 3C069CA06
, 3C069CA11
, 3C069CB01
, 3C069CB03
, 3C069EA01
, 4G015FA03
, 4G015FA04
, 4G015FB01
, 4G015FC02
, 4G015FC11
Return to Previous Page