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J-GLOBAL ID：200903003011877278

クリーンルームの空気調和装置

Inventor： 西村 浩
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992249456
Publication number (International publication number)：1994101881
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Apr. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造等を行なうクリーンルームにおいて、人間の動きでダウンフローの気流が乱れないようにすること。【構成】 センサ10によってクリーンルーム1内における人間の存在領域を認識している。人間の存在が認識されると、認識された存在領域のグレーチング4の開口率を増加して人間によるその存在位置近傍のダウンフロー風速を上昇させる。

Claim (excerpt)：

床部に所定の開口率を有するグレーチングを配置させることで、天井部に配設された送風手段からのダウンフローを前記床部と前記天井部との間のそれぞれの領域で理想的となるようにしたクリーンルームの空気調和装置において、前記クリーンルーム内における人間の存在領域を認識する検出手段と、当該検出手段によって認識された存在領域の前記床部に配設されているグレーチングの開口率を増加させる排気量調整手段とを有することを特徴とするクリーンルームの空気調和装置。