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J-GLOBAL ID：200903003017537762

傾斜ステージ

Inventor： 山 口 政 志
Applicant, Patent owner： 駿河精機株式会社
Agent (3)： 加藤 静富 ,  入江 一郎 ,  野末 寿一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006117483
Publication number (International publication number)：2007292475
Application date： Apr. 21, 2006
Publication date： Nov. 08, 2007
Summary：

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。【解決手段】傾斜ステージAは、円弧状に形成されたアリ条部1aを有するベース1と、このベース1に対向して設けられると共に、アリ条部1aに嵌合するアリ溝2aを有するプレート2と、このプレート2をアリ条部1aに沿って移動させる移動手段6と、アリ条部1aに嵌合して摺動するアリ溝2aは、対向する面2a’、2a”を有し、この対向する面2a’、2a”の内、少なくとも、一方の面2a’は、がたつきを有してプレート2に取り付けられているものである。【選択図】図10

Claim (excerpt)：

円弧状に形成されたアリ条部を有するベースと、 このベースに対向して設けられると共に、前記アリ条部に嵌合するアリ溝を有するプレートと、 このプレートを前記アリ条部に沿って移動させる移動手段と、 前記アリ条部に嵌合して摺動するアリ溝は、対向する面を有し、 この対向する面の内、少なくとも、一方の面は、がたつきを有して前記プレートに取り付けられていることを特徴とする傾斜ステージ。

IPC (4)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/42 ,  B23Q 1/34 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G12B5/00 T ,  B23Q1/42 ,  B23Q1/34 B ,  H01L21/30 503A

F-Term (13)：

2F078CA08 ,  2F078CB08 ,  2F078CB18 ,  2F078CC02 ,  2F078CC13 ,  3C048BB11 ,  3C048BB20 ,  3C048CC01 ,  3C048DD11 ,  3C048EE07 ,  5F046CC01 ,  5F046CC13 ,  5F046CC18