Pat

J-GLOBAL ID：200903003022905290

磁気式ウォーム歯車およびその製造方法

Inventor： 中澤 治雄 ,  渡辺 泰正
Applicant, Patent owner： 株式会社富士電機総合研究所
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995208621
Publication number (International publication number)：1997056146
Application date： Aug. 16, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】半導体プロセスなどに用いる薄膜形成,微細加工技術を利用することにより、マイクロマシン用として超小型,軽量化を可能にした磁気式ウォーム歯車,およびその製造方法を提供する。【解決手段】周面に螺旋状の磁気歯を形成したウォーム1と、ウォームと磁気的に噛み合うウォームホィール2との組合わせからなり、磁気歯の相互間に働く磁力で動力伝達を行う磁気式ウォーム歯車において、ウォームの周面に配列した螺旋状の磁気歯,およびウォームの磁気歯ピッチに合わせてウォームホィールの周面に配列した磁気歯を、N極とS極が交互に並ぶよう着磁した薄膜磁石3,4で形成する。そして、この薄膜磁石は、磁石材料の磁性薄膜を成膜したフレキシブル基板をウォーム,ウォームホィールの基体に巻きつけ、その磁気歯のパターンに合わせて前記磁性薄膜にN極,S極の着磁を施して形成する。

Claim (excerpt)：

周面に螺旋状の磁気歯を形成したウォームと、ウォームと磁気的に噛み合うウォームホィールとの組合わせからなり、磁気歯の相互間に働く磁力で動力伝達を行う磁気式ウォーム歯車において、ウォーム,ウォームホィールの磁気歯を薄膜磁石で形成したことを特徴とする磁気式ウォーム歯車。

IPC (3)：

H02K 49/10 ,  F16H 49/00 ,  F16H 55/22

FI (3)：

H02K 49/10 A ,  F16H 49/00 A ,  F16H 55/22