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J-GLOBAL ID:200903003029285556

分散/凝集状態を制御した遊離砥粒スラリー、その製造法及びその分散方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995094192
Publication number (International publication number):1996257898
Application date: Mar. 29, 1995
Publication date: Oct. 08, 1996
Summary:
【要約】【目的】 長期安定な遊離砥粒スラリーを提供することである。【構成】 水系遊離砥粒スラリーにおいて研磨材粒子に、電荷決定イオンおよび界面活性剤を作用させて研磨材粒子を凝集状態にしたことを特徴とする、再分散可能な遊離砥粒スラリー、およびこれに界面活性剤を添加して分散した遊離砥粒スラリー。
Claim (excerpt):
水系遊離砥粒スラリーにおいて、研磨材粒子表面に電荷決定イオンおよび界面活性剤を付着し、凝集状態としたことを特徴とする、再分散可能な遊離砥粒スラリー。
IPC (4):
B24B 37/00 ,  B01J 13/00 ,  C09K 3/14 550 ,  G11B 5/127
FI (4):
B24B 37/00 H ,  B01J 13/00 B ,  C09K 3/14 550 Z ,  G11B 5/127 Q

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