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J-GLOBAL ID：200903003038965217

シフトした双極子による曲線可変軸レンズ補正

Inventor： グェンサー・オー・ラングナー ,  ポール・フランシス・ペトリック
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 坂口 博 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997306988
Publication number (International publication number)：1998188870
Application date： Nov. 10, 1997
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 可変シフトされる曲線軸に沿って物体の像を形成することによって生じる付加収差を補正する。【解決手段】 改良された粒子レンズの軸101は、ビームがレンズを通って偏向するときビームの中心粒子線を辿るようにシフトされ、レンズのための可変曲線光学軸101nを形成するが、同時に、物体のサイズとレンズの対称軸からの距離に応じた収差を生じる。これらの収差は、装置軸に垂直なワイヤー対の組30-1により補正され、磁界のz成分の勾配が追加され、これにより、種類は同じであるが方向は装置に固有のものと反対の収差が生成される。

Claim (excerpt)：

粒子光学レンズのための曲線軸補正装置であって、装置軸回りに配置されたフィールド生成手段を有し、レンズ長を該装置軸に沿って延長し、集束フィールドを生成して粒子ビームの焦点合わせを行う、レンズと、上記レンズ内に、上記装置軸に垂直な面にてそれぞれが実質的に均一である1組の軸補正フィールドを生成する軸シフト手段であって、該軸補正フィールドの組は、該装置軸に沿った位置の関数として大きさが変化し、該位置の関数は、上記粒子ビームの中心粒子線の軌道に依存し、該軸補正フィールドの組のそれぞれは、大きさが上記集束フィールドの動径成分を打ち消すのに充分であり、よって上記集束フィールドの可変軸が上記粒子ビームの中心粒子線の軌道と実質的に一致する手段と、を含み、軸シフト面での上記粒子ビームの中心粒子線の軌道と上記集束フィールドの交差角度は交差しきい値を超え、上記装置は更に少なくとも1つの傾斜手段を含み、該手段は、上記装置軸の両側の上記装置軸に沿った同じ位置にあり、同じ極性の電流を運び、上記軸補正フィールドの組のほかに少なくとも1つの傾斜フィールドを印加する、傾斜補正ワイヤーの第1対を含む、曲線軸補正装置。

IPC (6)：

H01J 37/141 ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 1/093 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/027

FI (6)：

H01J 37/141 Z ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 1/093 D ,  G21K 5/04 S ,  H01J 37/147 Z ,  H01L 21/30 541 B