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J-GLOBAL ID:200903003041447189

複合処理装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 武 顕次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998233043
Publication number (International publication number):1999145240
Application date: Sep. 05, 1991
Publication date: May. 28, 1999
Summary:
【要約】【課題】 装置を小型化し、安価に製造することができる複合処理装置を提供する。【解決手段】 搬送処理装置10と、搬送処理装置10に連結された複数のプロセス処理装置30,40,50と、これらを制御する制御装置13,33,43,53と、搬送処理装置10に連結されたロードロック室21及びアンロードロック室21と、大気搬送装置と、ロードカセットとを備え、大気搬送装置により処理すべき半導体ウエハをロードカセットよりロードロック室21に搬入し、また処理済みの半導体ウエハをアンロードロック室22よりロードカセットに搬出するように構成した。
Claim (excerpt):
搬送処理装置と、この搬送処理装置に連結された複数のプロセス処理装置と、これらを制御する制御装置と、前記搬送処理装置に連結されたロードロック室及びアンロードロック室と、大気搬送装置と、ロードカセットとを備え、処理すべき被処理物を前記大気搬送装置により前記ロードカセットから取り出して前記ロードロック室に搬入し、この搬入された被処理物を前記搬入処理装置を介して任意の前記プロセス処理装置に搬入して任意の処理を行ない、処理済みの被処理物を前記搬送処理装置を介して前記アンロードロック室に搬出し、前記大気搬送装置により元のロードカセット又は別のロードカセットに戻すように構成したことを特徴とする複合処理装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
  • 特開平3-014253
  • 特開昭62-242326
  • 特開昭63-252439
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Cited by examiner (8)
  • 特開平3-014253
  • 特開平3-014253
  • 特開昭62-242326
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