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J-GLOBAL ID：200903003053613009
スパッタリング用窒化珪素系ターゲット材料
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 朗 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992349559
Publication number (International publication number)：1994204214
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 組成が均一、均質で緻密である上、高強度かつ高純度のスパッタリング用窒化珪素系ターゲット材料を提供すること。【構成】 窒化珪素粉末と、ポリシラザン、特にペルヒドロポリシラザンの混合物を成形、焼結してなるスパッタリング用窒化珪素ターゲット材料。ポリシラザンは優れた成形、焼結用バインダーとして機能し、かつ極めて高純度であり得るので、上記目的のターゲット材料が得られる。
Claim (excerpt)：
窒化珪素粉末とポリシラザンの混合物を成形、焼結してなることを特徴とするスパッタリング用窒化珪素系ターゲット材料。
IPC (2)：
H01L 21/318
, C04B 35/58 101
