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J-GLOBAL ID：200903003057681726

磁気記録媒体及び磁気ヘッド並びにその製造方法及び製造装置

Inventor： 石川 晃 ,  城石 芳博 ,  細江 譲 ,  棚橋 究
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993203336
Publication number (International publication number)：1995057261
Application date： Aug. 17, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ヘッド低浮上が可能で、高密度記録が可能な磁気記録媒体及び高感度な磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドを提供する。【構成】 複数の蒸着用ターゲット23〜25から選択されたターゲット23にレーザー光202を照射して蒸発させ、蒸発したターゲット材料粒子205のうち高エネルギーの帯電粒子を蒸着粒子運動エネルギー制御部206で除去した後、赤外線ランプ201によって所定温度に加熱され、回転軸29に支持されて回転駆動される基板28の表面に堆積させることによって、磁気記録媒体あるいは磁気ヘッドの下地膜、磁性膜、保護膜の少なくとも一つの膜を形成する。

Claim (excerpt)：

非磁性基板上に直接又は少なくとも一層の下地膜を介して磁性膜を形成する工程と、更にその上に保護膜を形成する工程を含む磁気記録媒体の製造方法において、真空排気した容器内に前記基板を配置すると共に前記基板面に蒸着用ターゲットを対向配置し、該ターゲットの前記基板対向面に光照射してターゲットを蒸発させ、蒸発したターゲット材料粒子を堆積させることによって前記基板上の前記下地膜、磁性膜、保護膜の少なくとも一種類の膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (7)：

G11B 5/85 ,  G11B 5/02 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/39 ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/82