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J-GLOBAL ID：200903003063559711

電磁ビームを発生する装置及び装置の動作方法

Inventor：
エルラー・マルコ

About エルラー・マルコ


Applicant, Patent owner：
カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

About カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング


Agent (3)： 江崎 光史 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009518790
Publication number (International publication number)：2009543083
Application date： Jul. 11, 2007
Publication date： Dec. 03, 2009
Summary：
本発明は、装置が、電磁ビーム、特にX線ビーム又は極端紫外線ビームを発生するように構成されており、その際、粒子、特に電子が、調節可能な集束装置(22)によってターゲット(5)に向けて転向されるので、粒子によってターゲット(5)において電磁ビームが発生され、少なくとも1つの対象物、特に校正対象物(70)が、電磁ビームによって通過照射され、かつ対象物の通過ビーム画像が撮影され、1つ又は複数の通過ビーム画像が自動的に評価され、かつ評価に依存して、集束装置(22)が調節される装置の動作方法に関する。
Claim (excerpt)：
装置が、電磁ビーム、特にX線ビーム又は極端紫外線ビームを発生するように構成されており、その際、 -粒子、特に電子が、調節可能な集束装置(22)によってターゲット(5)に向けて転向されるので、粒子によってターゲット(5)において電磁ビームが発生され、 -少なくとも1つの対象物、特に校正対象物(70)が、電磁ビームによって通過照射され、かつ対象物の通過ビーム画像が撮影され、 -1つ又は複数の通過ビーム画像が自動的に評価され、かつ -評価に依存して、集束装置(22)が調節されることを特徴とする装置の動作方法。
IPC (1)：
G01N 23/04
FI (1)：
G01N23/04
F-Term (19)：
2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001CA07 ,  2G001EA06 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA02 ,  2G001JA04 ,  2G001JA14 ,  2G001SA02 ,  2G001SA11 ,  2G001SA12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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