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J-GLOBAL ID：200903003070475167
測定子の位置測定方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宮内 佐一郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991275876
Publication number (International publication number)：1993118811
Application date： Oct. 24, 1991
Publication date： May. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基板の特性を評価する試験機に用いられている測定子の位置測定方法に関し、作業者の個人誤差の発生を防止し、また、位置合わせの工数を削減することができ、かつ、裏側などに微細な測定端子のある測定子の位置合わせを行うことを目的とする。【構成】 ステージ7の下方にクロスマークのついたレンズ17を配置し、該レンズ17の下方にカメラ18を配置して、測定子9〜11の中心とレンズ17のクロスマークのずれ量をみて、前記ステージ7の移動により測定子9〜11の中心とクロスマークを一致させて、測定子9〜11の位置を測定するように構成する。
Claim 1：
基板の特性を評価する試験機に用いられ、同一のステージ(7)上に配置された複数の測定子(9〜11)の位置を測定する測定子の位置測定方法において、前記ステージ(7)の下方にクロスマークのついたレンズ(17)を配置し、該レンズ(17)の下方にカメラ(18)を配置して、測定子(9〜11)の中心とレンズ(17)のクロスマークのずれ量をみて、前記ステージ(7)の移動により測定子(9〜11)の中心とクロスマークを一致させて、測定子(9〜11)の位置を測定することを特徴とする測定子の位置測定方法。
Patent cited by the Patent：
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