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J-GLOBAL ID：200903003070704123

ネガ型感光性組成物

Inventor： 落合 為一 ,  高崎 龍一郎
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992171036
Publication number (International publication number)：1994011834
Application date： Jun. 29, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下で作用する架橋剤、下記式(I)又は(II)で示される光酸発生剤及び増感剤を含有してなるネガ型感光性組成物。【化1】式中、Arは置換基を有していてもよいフェニル又はナフチルを、X1〜X11はH、Cl又はBrを表わし、但し、X1〜X3及びX4〜X11の夫々少なくとも1つはCl又はBrである。【効果】本発明の組成物は、高度感、高解像性であり、特にi線露光用のフォトレジストとして有用である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤、光酸発生剤及び増感剤を含有してなるネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が下記一般式(I)または(II)で示されるハロゲン化合物であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】(式(I)中、Arは置換基を有していても良いフェニル基又はナフチル基を、X1、X2及びX3はそれぞれH、ClまたはBrを表わすが、X1、X2及びX3の少なくとも1つはCl又はBrである。式(II)中、X4〜X11ははそれぞれH、Cl又はBrを表わすが、X4〜X11の少なくとも1つはCl又はBrである。)

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03C 1/675 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027