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J-GLOBAL ID：200903003075559571

感光性組成物

Inventor：
渡邊 健夫

About 渡邊 健夫

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木下 博雄

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遊佐 真一

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早川 正道

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Applicant, Patent owner：
兵庫県

About 兵庫県

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東洋合成工業株式会社

About 東洋合成工業株式会社


Agent (2)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007025990
Publication number (International publication number)：2008191413
Application date： Feb. 05, 2007
Publication date： Aug. 21, 2008
Summary：
【課題】 酸発生剤とフォトレジストの主成分である酸解離基を有するポリマーとの相溶性が悪いという問題点を伴うことがなく、良好なパターンを得ることができる感光性組成物を提供する。【解決手段】重合体ではない多価フェノールに下記式(1)で表される有機基が導入された感光性多価フェノール誘導体を有機溶媒に溶解させた溶液とする。【化1】(式(1)において、R1は直鎖もしくは分岐の炭素数2〜9の2価の有機基であり、R2〜R5はそれぞれ独立に水素原子又は直鎖もしくは分岐の炭素数1〜3の有機基であり、R6及びR7はそれぞれ独立に有機基であり、R6とR7とは一緒になって2価の有機基を形成していてもよい。X-は陰イオンを表す。)【選択図】 なし
Claim 1：
重合体ではない多価フェノールに下記式(1)で表される有機基が導入された感光性多価フェノール誘導体を有機溶媒に溶解させた溶液であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (3)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (19)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ04 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4C036AD02 ,  4C036AD04 ,  4C036AD18 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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