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J-GLOBAL ID：200903003077975939
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999316969
Publication number (International publication number)：2001133381
Application date： Nov. 08, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：
【要約】【課題】 短時間で正確な3次元形状を得ることができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 Zスキャナに対するZ制御系のサーボ残差が大きくなって、Zセンサ7からのセンサ信号がコンパレータ905aの基準電圧906より大きくなると、減速要求信号がパルス生成部901のクロック発生器901aに与えられ、パルス発生器901bからのクロック信号の周波数を低下させ、UP/DOWNカウンタ902、D/A変換器903および高圧アンプ904によるXYスキャナ3の走査速度を低速に移行する。
Claim (excerpt)：
試料に近接して配置されたカンチレバーを有し、このカンチレバーの状態を検出する検出手段の出力により前記カンチレバーと試料との間の距離を制御するとともに、前記カンチレバーに対して前記試料を2次元走査することにより該試料の3次元計測を可能にした走査型プローブ顕微鏡において、前記検出手段の出力に基いて前記試料の2次元走査速度の減速を判断する減速判定手段と、この減速判定手段の判断結果に基いて前記試料の2次元走査速度を減速させる速度制御手段とを具備したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (2)：
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