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J-GLOBAL ID:200903003088562601

液晶セルの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007077006
Publication number (International publication number):2008233787
Application date: Mar. 23, 2007
Publication date: Oct. 02, 2008
Summary:
【課題】斜方蒸着法による配向膜のバラツキと配向膜形成設備が大きくなる。【解決手段】チャンバー2と、チャンバー2内の下側に設けられた蒸着源1と、チャンバー2内の上側に設けられ所定の速度で回転する被蒸着物保持治具4とを有する蒸着装置で、被蒸着物保持治具4は、蒸着源1を中心とする円周方向に湾曲する吸引用磁石7を備えた磁石付ホルダー6と、磁性材料よりなり液晶セル基板5の蒸着範囲を制限する開口部9を有するメタルマスク8と、磁石付ホルダー6とメタルマスク8との間に液晶セル基板5を挟持させ、湾曲した状態で液晶セル基板5を保持する。液晶セル基板5は蒸着源1を中心とする円周方向に湾曲された状態で蒸着源1からの蒸着を行う。液晶セル基板5を湾曲させ、蒸着角度を補正することにより、蒸着膜厚のバラツキが減少する。液晶セル基板5の円周方向の長さを円周方向と直交する方向の長さより長くすると更に改善される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
チャンバーと、前記チャンバー内の下側に設けられた蒸着源と、前記チャンバー内の上側に設けられた被蒸着物保持治具とを有する蒸着装置により、前記被蒸着物保持治具に保持された液晶セル基板の内面に、前記蒸着源によって所定の角度を有する蒸着膜を形成する液晶セルの製造方法において、前記蒸着源を中心とする円周方向に前記液晶セル基板を湾曲させた状態にて、前記蒸着源からの蒸着を行うことを特徴とする液晶セルの製造方法。
IPC (1):
G02F 1/133
FI (1):
G02F1/1337 515
F-Term (7):
2H090HB03Y ,  2H090HC01 ,  2H090HC18 ,  2H090HD14 ,  2H090JB02 ,  2H090MA01 ,  2H090MB06
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)

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