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J-GLOBAL ID：200903003108088715

青色発光素子及びその製造方法

Inventor： 薄田 真人 ,  須賀 誠一
Applicant, Patent owner： テイーデイーケイ株式会社
Agent (1)： 三澤 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991179514
Publication number (International publication number)：1993029652
Application date： Jul. 19, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 効率良く青色を発光する青色発光素子及びその製造方法を提供するようにする。【構成】 フッ素を添加したアモルファス水素化炭化珪素(a-SiC:H,F)薄膜17を発光層として用いる。薄膜中のSiとCが均一に分散してランダムネットワークを形成できると共に、ポリマー状のC-C結合あるいはグラファイト状の結合を有するC原子が多量に存在しないため、効率良く青色を発光することができる。この薄膜17は、水素化珪素とフッ化炭素の混合ガス、またはフッ化珪素と炭化水素の混合ガスを主たる原料として用い、グロー放電プラズマによって形成する。

Claim (excerpt)：

フッ素が添加されたアモルファス水素化炭化珪素薄膜を発光層として用い、前記薄膜中のフッ素の濃度X(atm%)を5乃至50の範囲に設定したことを特徴とする青色発光素子。

IPC (3)：

H01L 33/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-069691
  
• 特開昭62-051275
  
• 特開昭58-056414