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J-GLOBAL ID：200903003134860752

感光性樹脂組成物

Inventor： 加藤 康一 ,  前田 ▲祐▼利 ,  国宗 弘一
Applicant, Patent owner： チッソ株式会社
Agent (1)： 藤本 博光 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993095934
Publication number (International publication number)：1994308728
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】 一般式(I)【化1】で示される構造単位が20〜80モル部、一般式(II)【化2】で示される構造単位が80〜20モル部からなる対数粘度数0.1〜5.0dl/g(30°C、N-メチル-2-ピロリドン溶媒)のポリイミド前駆体の100重量部およびオルトキノンジアジド化合物の0.5〜50重量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、(ただし、式(I)および(II)において、R2は独立に2価の有機基である)。【目的】 本発明の感光性樹脂組成物は、実用上十分な感度を有し、ポジ型の良好なレリーフ・パターンを形成することができる。また保存安定性に優れるため膜厚の経時的な変動が少ない。

Claim (excerpt)：

一般式(I)【化1】で示される構造単位が20〜80モル部、一般式(II)【化2】で示される構造単位が80〜20モル部からなる対数粘度数0.1〜5.0dl/g(30°C、N-メチル-2-ピロリドン溶媒)のポリイミド前駆体の100重量部およびオルトキノンジアジド化合物の0.5〜50重量部を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物、(ただし、式(I)および(II)において、R2は独立に2価の有機基である)。

IPC (8)：

G03F 7/027 514 ,  C08K 5/23 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312