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J-GLOBAL ID：200903003142910122

測定ヘッド

Inventor：
高井 望

About 高井 望


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003178051
Publication number (International publication number)：2005016972
Application date： Jun. 23, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：
【課題】測定ヘッド内部の調整やメンテナンスが容易で、測定ヘッド全体を密閉構造にする必要がなく、接触子の衝撃や振動の減衰力の調整が容易で、減衰効果の変動が少ない測定ヘッドを提供すること。【解決手段】接触子14からシーソー部材12に伝達される衝撃や振動を吸収するダンパー装置18にはユニット式のダンパー装置18を用い、このユニット式のダンパー装置18の構造をシーソー部材12の円弧運動を吸収する構造、或いはシーソー部材12の円弧運動に合わせて円弧運動する構造とし、シーソー部材12の傾く角度によってダンパー効果が変動しない構造とした。【選択図】 図3
Claim 1：
先端に接触子を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記接触子と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位量を検出することによって前記接触子の変位量を検出する検出器と、を有する測定ヘッドにおいて、 前記接触子から前記シーソー部材に伝達される衝撃や振動を吸収するユニット式のダンパー装置が設けられ、 該ダンパー装置によって、前記シーソー部材に一定の回動抵抗が付加されることを特徴とする測定ヘッド。
IPC (5)：
G01B21/00 ,  F16F13/06 ,  F16F13/26 ,  F16F15/06 ,  G01B5/00
FI (5)：
G01B21/00 A ,  G01B5/00 A ,  F16F15/06 Z ,  F16F13/00 620S ,  F16F13/00 630D
F-Term (31)：
2F062AA01 ,  2F062AA66 ,  2F062BC56 ,  2F062CC07 ,  2F062CC22 ,  2F062CC25 ,  2F062EE03 ,  2F062EE63 ,  2F062GG66 ,  2F062HH13 ,  2F062HH21 ,  2F062HH32 ,  2F069AA06 ,  2F069AA39 ,  2F069CC04 ,  2F069GG01 ,  2F069GG11 ,  2F069GG52 ,  2F069LL02 ,  2F069LL06 ,  2F069MM00 ,  3J047AA08 ,  3J047AB02 ,  3J047CA02 ,  3J047FA06 ,  3J048AA02 ,  3J048AC04 ,  3J048BC01 ,  3J048BE01 ,  3J048DA10 ,  3J048EA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
  • 触針式プローブ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-276434   Applicant：キヤノン株式会社
  • ブレースダンパ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-032292   Applicant：トキコ株式会社
  • 三次元形状測定装置および三次元形状測定装置におけるZ軸ステージ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-193438   Applicant：株式会社リコー
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