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J-GLOBAL ID：200903003144585245

露光マスク作製用のブランクス保持具および露光マスクの製造方法

Inventor： 大森 真二 ,  小池 薫 ,  守屋 茂 ,  岩瀬 和也
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001338890
Publication number (International publication number)：2003142380
Application date： Nov. 05, 2001
Publication date： May. 16, 2003
Summary：

【要約】【課題】 露光マスク形成用のブランクスの一方の面に既に形成されたパターンを非破壊に保った状態で、他面の加工を行うことが可能なブランクス保持具および露光マスクの製造方法を提供する。【解決手段】 支持枠101によって薄膜状のメンブレン102を支持してなる露光マスク作製用のブランクス100が載置される保持具1であって、ブランクス100が載置される載置面3aを有する本体3を備えている。この載置面3aには、ブランクス100を載置面3aに載置した状態で、ブランクス100の支持枠101の内周となる位置に窪み7が形成されていることを特徴としている。また載置面3aには、窪み7からブランクス100の外周位置に引き出される排気溝9が設けられていることとする。

Claim 1：

支持枠によって薄膜状のメンブレンを支持してなる露光マスク作製用のブランクスが載置される保持具であって、前記ブランクスが載置される載置面を有する板状の本体を備え、前記載置面には、前記ブランクスを当該載置面に載置した状態で当該ブランクスにおける支持枠の内周となる位置に窪みが形成されていることを特徴とする露光マスク作製用のブランクス保持具。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/16

FI (5)：

G03F 1/16 A ,  G03F 1/16 B ,  H01L 21/30 531 M ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 541 P

F-Term (11)：

2H095BA08 ,  2H095BA10 ,  2H095BB29 ,  2H095BB31 ,  5F046GD04 ,  5F046GD10 ,  5F046GD13 ,  5F046GD15 ,  5F046GD20 ,  5F056FA05 ,  5F056FA10