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J-GLOBAL ID：200903003149675951

走査型プローブ顕微鏡を用いた測定方法

Inventor： 中桐 伸行 ,  山本 琢磨 ,  杉村 博之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996286278
Publication number (International publication number)：1998132829
Application date： Oct. 29, 1996
Publication date： May. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】 STM及びAFM機能を有する走査型プローブ顕微鏡を用いて液中の試料表面を測定する方法であって、カンチレバーを励振しながら高い感度で試料表面を測定することのできる測定方法を提供する。【解決手段】 本発明の測定方法に用いる走査型プローブ顕微鏡は、導電性の探針3を有するカンチレバーを備え、この探針3で液中に置かれた試料表面を走査しながら探触する。このカンチレバーは、探針先端部4及び電極部を除いて絶縁体に覆われている。このカンチレバーを共振周波数で励振するとともに、探針-試料間に流れる電流又は振幅のいずれか一方を所定の状態となるようにコントロールしながら、他の一方をモニターする。

Claim (excerpt)：

走査型トンネル顕微鏡(STM)機能及び原子間力顕微鏡(AFM)機能を有する走査型プローブ顕微鏡を用いて、液中に置いた試料表面を測定する方法であって;該走査型プローブ顕微鏡は、試料表面を探触する導電性探針、及び、この探針と電気的に接続された電極を有するカンチレバーであって、該探針先端部及び電極部を除いて絶縁体に覆われているカンチレバーを有し、上記カンチレバーを共振周波数で励振するとともに、探針-試料間に流れる電流又は振幅のいずれか一方を所定の状態となるようにコントロールしながら、他の一方をモニターすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を用いた測定方法。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 B ,  G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z