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J-GLOBAL ID：200903003183579163

投影露光装置及び投影露光方法

Inventor： 田辺 容由
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 松浦 兼行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995272269
Publication number (International publication number)：1997115811
Application date： Oct. 20, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 色分散素子色分離された複数の光の一部のみしかスリットを通過できないため、光源からのレーザ光のスペクトルすべてを利用することができず、光利用効率が落ちて、投影露光装置のスループット低下を引き起こす。反射屈折光学系を用いた従来装置は、光学系設計及び製造が難しい点不利である。【解決手段】 光源11からの準単色なスペクトル特性を有する光ビームをプリズム14により色分離を行い、色分離した各色の光がレチクル111の各位置に異なるスペクトルの光として照射される。レチクル111のパターン領域の像は、色収差補正板113により光路長が補正されることにより、主に光軸方向の色収差が補正される。また、レチクルステージ112a、112bと、ウェハステージ116とを同期機構117を用いて、紙面内方向に結像関係を保ちながら走査して上記照明むらを補正する。

Claim (excerpt)：

準単色なスペクトル特性を有する光ビームを出射する光源と、前記光ビームを異なる波長毎に分離する色分離素子と、パターンが形成されたレチクルと、前記色分離素子により分離された複数の波長の光ビームを、それぞれ前記レチクルの異なる位置に照射する照明光学系と、前記照明光学系により照明して得られたレチクルのパターン像を感光基板上に転写する投影光学系と、前記レチクルの異なる位置において生じる色収差を補正する色収差補正手段と、前記レチクルの異なる位置において生じる照明むらを補正する照明むら補正手段とを有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B