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J-GLOBAL ID：200903003200448906

形状測定方法及び形状測定装置

Inventor： 神谷 誠一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998257506
Publication number (International publication number)：2000074638
Application date： Aug. 26, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 物体の3次元形状をモアレ技術を用いて高精度に測定することができる形状測定方法及びそれを用いた形状測定装置を得ること。【解決手段】 被測定物に形状誤差が無いと仮定した時に干渉計で検出されると仮定される光波面情報を仮想画像情報とし、該仮想画像情報の内、基準とするエリアにおける測定光源と参照光源の位相差がπ/4+αφ(α=0〜N-1、Nφ=2π)となるN個の仮想画像情報、及び位相差が3π/4+αφとなるN個の仮想画像情報、及び位相差が5π/4+αφとなるN個の仮想画像情報をあらかじめ算出しておき、干渉計で被測定物の光波面情報を検出した被測定画像情報の内、基準とするエリアにおける位相差がαφ(α=0〜N-1、Nφ=2π)となるN個の被測定画像情報を検出し、該仮想画像情報と該被測定画像情報とから得られるモアレ縞を用いて被測定物の形状誤差を2次元位相分布から求めること。

Claim (excerpt)：

被測定物に形状誤差が無いと仮定した時に干渉計で検出されると仮定される光波面情報を仮想画像情報とし、該仮想画像情報の内、基準とするエリアにおける測定光源と参照光源の位相差がπ/4+αφ(α=0〜N-1、Nφ=2π)となるN個の仮想画像情報、及び該仮想画像情報の基準とするエリアにおける位相差が3π/4+αφとなるN個の仮想画像情報、及び該仮想画像情報の基準とするエリアにおける位相差が5π/4+αφとなるN個の仮想画像情報をあらかじめ算出しておき、干渉計で被測定物の光波面情報を検出して被測定画像情報とし、該被測定画像情報の内、基準とするエリアにおける位相差がαφ(α=0〜N-1、Nφ=2π)となるN個の被測定画像情報を検出し、該仮想画像情報と該被測定画像情報とからモアレ縞を発生させ、該モアレ縞を演算処理することによってに被測定物の形状誤差を2次元位相分布から求めることを特徴とする形状測定方法。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G02B 5/28

FI (3)：

G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K ,  G02B 5/28

F-Term (15)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065FF06 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065HH10 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05