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J-GLOBAL ID：200903003204614240

液中微粒子付着制御法

Inventor： 太田 勝啓 ,  斉藤 昭男 ,  高原 洋一 ,  岡 齊
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991200252
Publication number (International publication number)：1993138142
Application date： Aug. 09, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、半導体の製造プロセスにおいて、各種金属、合金、セラミックスを含む無機物または有機物を含む化合物の微粒子の付着を防止する技術を提案することにある。【構成】本発明は、溶液中にある微粒子および基板のゼータ電位(表面電位)を制御できる物質を、該溶液中に添加することにより、溶液中にある前記微粒子の付着を防止あるいは低減することにより達成される。

Claim (excerpt)：

溶液中にある微粒子のゼータ電位(表面電位)を制御できる物質を、該溶液中に10~7〜25vol%の範囲の添加濃度で添加することにより、溶液中にある被吸着体である前記微粒子の付着を防止あるいは低減することを特徴とする液中微粒子付着制御法。

IPC (2)：

B08B 17/02 ,  H01L 21/304 341