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J-GLOBAL ID：200903003212425570

静電容量型加速度センサー

Inventor： 安 藤 充 宏 ,  堀 場 英 二
Applicant, Patent owner： アイシン精機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994309253
Publication number (International publication number)：1996166404
Application date： Dec. 13, 1994
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：

【要約】【目的】 静電容量型加速度センサーを簡単な構造とすると共に、X軸とY軸とが干渉せずに静電容量変化が検出できることを目的とする。【構成】 マス部11の両面に配設された導電部材12、13と、マス部11の上面と導電部材12との間に介在されるはり14によりマス部11を支持する第1カバー板15及び第2カバー板16と、導電部材12に対向して第1カバー板15に配設され電気信号の入出力を行う3つの第1電極20と、導電部材13に対向し且つ第1電極20に直交するように第2カバー板16に配設され電気信号の入出力を行う3つの第2電極21とからな成るものである。

Claim (excerpt)：

マス部の上面及び下面の両面に配設された導電部材と、前記マス部の上面と前記導電部材との間に介在される支持部材により該マス部を支持する第1カバー板及び第2カバー板と、矩形形状で一方の前記導電部材に対向するように前記第1カバー板に少なくとも2つ配設され電気信号の入出力を行う第1電極と、矩形形状で他方の前記導電部材に対向し且つ前記第1電極に直交するように前記第2カバー板に少なくとも2つ配設され電気信号の入出力を行う第2電極とから成ることを特徴とした静電容量型加速度センサー。