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J-GLOBAL ID：200903003219008494

微小機械の製造方法

Inventor： 山田 恵三
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991073707
Publication number (International publication number)：1993255862
Application date： Mar. 14, 1991
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 微細な機械要素の製造を可能にする。【構成】 基板1の上にレジスト2を塗布し、レジストパターン3を形成する。レジスト表面を活性化した後、無電解めっき液の中に投入してめっきを行う。レジストを除去して、機械要素を製造する。

Claim (excerpt)：

微小機械要素の製造工程において、無電解めっき法を用いた金属薄膜形成工程を含むことを特徴とする微小機械の製造方法。

IPC (2)：

C23C 18/31 ,  C23C 18/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-210636
  
• 特開平4-206827
  
• 特開平2-166711