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J-GLOBAL ID：200903003220253575
電子ビーム装置における非点補正方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031979
Publication number (International publication number)：1993234551
Application date： Feb. 19, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 短時間に正確にX,Y方向の非点の補正を行うことができる電子ビーム装置における非点補正方法を実現する。【構成】 ピーク検出回路25で非点のずれ量Dが検出されると、CPU26はこのDに対応した複数の非点補正量をデータメモリ27から読みだし、順々にレジスタ11,13にセットする。各非点補正量の組み合わせがコイル7,8に供給される都度、偏向コイル5には試料4上を2次元的に走査する走査信号が供給される。この走査によって発生した2次電子は、検出器19によって検出され、その検出信号は積分器22によって積分される。XY方向の非点補正量の各組み合わせに対する積分信号強度曲線のピーク位置のときのXY方向の非点補正量が最適な非点補正量となる。
Claim (excerpt)：
試料上に照射される電子ビームを細く集束するための集束レンズと、電子ビームを試料上でX方向とY方向へ2次元的に走査するための偏向手段と、電子ビーム通路に配置されたXY方向の非点収差補正装置とを備えた電子ビーム装置において、試料上で2次元的に電子ビームを走査し、この走査によって得られた信号を積分するステップ、この電子ビーム走査を対物レンズの励磁強度を変化させながら多数回行うステップ、対物レンズの励磁強度の変化に伴う非点存在時の積分値の変化曲線の2つのピークの中心とピークとの間のフォーカスのずれ量Dを求めるステップ、このずれ量Dに応じてあらかじめ記憶された非点補正装置に供給する複数の非点補正値のうち、求められたずれ量Dに対応した非点補正値を読み出すステップ、各非点補正値を非点収差補正装置に供給してその都度電子ビームを走査し、この走査によって得られた信号を積分するステップ、非点補正位置の変化に伴う積分値の変化曲線のピークの時の非点補正値を非点収差補正装置にセットするステップより成る電子ビーム装置における非点収差補正方法。
IPC (2)：
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