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J-GLOBAL ID：200903003230488481

低真空雰囲気形走査電子顕微鏡

Inventor： 伊東 祐博 ,  赤津 光男 ,  小笹 進
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994275193
Publication number (International publication number)：1996138603
Application date： Nov. 09, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】【目的】 1台の油拡散ポンプと1台のロータリーポンプのみからなる安価でシンプルな排気系を具備する低真空雰囲気形走査電子顕微鏡を提供する。【構成】 電子線を発生する電子銃部3の高真空と試料8を配置する試料室10の低真空とを流路抵抗のネットワークを組み合わせることにより、同時に維持するように構成する。試料室10は、流路抵抗R1の流路抵抗部材35を介して大気に連通し、また抵抗R2の流路抵抗を有する排気管31を介してロータリーポンプ29で排気される。抵抗R1とR2は、その比R2/R1が1/100〜1/10000の範囲の所定値に設定されている。【効果】 従来試料室排気専用に必要だったロータリーポンプを省くことができ排気系全体の低コスト化が図れる。

Claim (excerpt)：

主排気配管を通して高真空ポンプで排気される電子銃部と、試料室と、電子銃部と試料室を接続する中間室とを含み、試料の観察時に観察試料周囲雰囲気の圧力を数Pa〜数百Paの低真空状態とする低真空雰囲気走査電子顕微鏡において、中間室は差動排気用オリフィスを備え、試料室は一端が大気に接続された第1の流路抵抗部材と一端が荒引き用真空ポンプに接続された第2の流路抵抗部材との接続部に連通しており、第1の流路抵抗部材の流路抵抗R1と第2の流路抵抗部材の流路抵抗R2はその比R2/R1が1/100〜1/10000の範囲の所定値に設定されていることを特徴とする低真空雰囲気形走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/18 ,  H01J 37/28