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J-GLOBAL ID：200903003234951470

円錐形ドームを有する誘電結合平行平板型プラズマリアクター

Inventor： ゲーハード シュナイダー ,  ヴィクトル シェル ,  アンドリュー ニューエン ,  ロバート ダブリュー. ウ ,  ジェラルド ズィー. イン
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997287181
Publication number (International publication number)：1998149899
Application date： Oct. 20, 1997
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 正確な温度制御が可能なプラズマ反応チャンバを提供することを課題とする。【解決手段】 基板処理位置52’を包囲するチャンバ壁130を円錐台形状とし、この外表面に面接触するコイル支持部材188内に誘導コイル180が設けられている。誘導コイル180の外側には、内部に加熱体を有するヒーター被覆212が配され、さらにその外周に内部に水などの伝熱流体を流す冷却流体通路220を有する冷却リング200が配置されている。この構成により、チャンバ壁130から冷却リング200まではそれぞれの温度差で膨張率が異なっても面接触を維持したまま摺動するので、広い伝熱面を有し、加熱体や伝熱流体を利用してチャンバ壁130の温度をほぼ一定に保つことができる。

Claim (excerpt)：

チャンバ内の基板処理位置に面した内壁面と前記内壁面に対向する円錐形外壁面とを有する円錐形部分を有するチャンバ壁と、前記外壁面の直近に配設されて次第に径が拡大している多重巻線を有する円錐形誘導コイルと、を備えるプラズマ真空処理チャンバ。

IPC (2)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H05H 1/46 L ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 B