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J-GLOBAL ID：200903003237882398

液晶駆動用基板及びその製造方法

Inventor：
富川 徹

About 富川 徹


Applicant, Patent owner：
日本ビクター株式会社

About 日本ビクター株式会社


Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997336292
Publication number (International publication number)：1999153788
Application date： Nov. 20, 1997
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：
【要約】【課題】 プロセスを過度に複雑化させることなく容易に反りを解消し、対向電極とのギャップを均一にすることができる液晶駆動用基板を提供する。【解決手段】 半導体基板1の表面に、少なくとも液晶駆動用のスイッチング素子5と、これに電気的に接続される配線層7と、表面絶縁層8と、前記配線層7に電気的に接続される画素電極9とを形成してなる液晶駆動用基板15において、前記半導体基板1の裏面に、前記半導体基板1に発生した内部応力に起因する反りを相殺する応力を持った応力相殺膜17を設ける。これにより、反りを解消し、対向電極とのギャップを均一にする。
Claim 1：
半導体基板の表面に、少なくとも液晶駆動用のスイッチング素子と、これに電気的に接続される配線層と、表面絶縁層と、前記配線層に電気的に接続される画素電極とを形成してなる液晶駆動用基板において、前記半導体基板の裏面に、前記半導体基板に発生した内部応力に起因する反りを相殺する応力を持った応力相殺膜を設けたことを特徴とする液晶駆動用基板。
IPC (2)：
G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/00 346
FI (2)：
G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/00 346 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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