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J-GLOBAL ID：200903003243674012

結晶引上用ルツボ

Inventor： 西崎 克己 ,  越前谷 一彦 ,  関 康之
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小杉 佳男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993116054
Publication number (International publication number)：1994321678
Application date： May. 18, 1993
Publication date： Nov. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】メルトの自由表面に酸素蒸発防止部材を設置するcz法によるシリコン単結晶引上げにおいて、使用するルツボ1の底部の曲率半径をR1、底部と側面との境界部の曲率半径をR2とするとき、与えられたルツボ1の内径、蒸発防止部材の最大外径、引上げ後ルツボ中の目標残湯量から、これら各条件に最適のR1、R2が求められ、これを基準として実際のルツボ1の各曲率半径R1a、R2a(正数値)を求めることができる。【構成】ルツボ1の上記曲率半径R1およびR2の最適値を求める数式から構成される。

Claim (excerpt)：

メルトの自由表面を部分的に被覆してドーピングによる酸素の蒸発を抑制し結晶中の酸素濃度を制御するCZ法に使用され、底面の曲率半径R1 、底面と側面との境界部の曲率半径R2 を有するシリコン結晶引上用ルツボにおいて、該曲率半径R1 およびR2 を下記式で算出した値を基準として設定することを特徴とする結晶引上用ルツボ。R1 =(ya2 +r2 )/2yaR2 ={-b-(b2 -4c)1/2 }/2ただし、yaはF(y)=0を満たすy(座標)の値で、F(y)=y3 +3r2 y-6V/πb={2(R1 -R0 -a2 R0 )}/a2c=(a2 R0 2 -R12+R02)/a2a=(R1 -ya)/rここに、2r:メルトの自由表面を部分的に覆う部材の外径V:残湯量の体積2R0 :ルツボの内径である。

IPC (3)：

C30B 15/10 ,  C30B 15/04 ,  C30B 29/06 502