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J-GLOBAL ID：200903003267311581
探針先端極限化法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991191504
Publication number (International publication number)：1993034106
Application date： Jul. 31, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】液体中で作動する走査型トンネル顕微鏡(STM)の探針の針先のトンネル電流の流れる領域をナノメーター・オーダーに極限化し,STMの分解能を向上させる。【構成】電導性探針1にシリコン膜2を蒸着し,その後熱酸化3して絶縁膜4とする。この探針を電界イオン顕微鏡(FIM)中で高電圧を印加するとともに,パルス電圧またはパルスレーザ照射により探針先端の絶縁膜の構成原子を陽イオン5として電界蒸発させることにより,針先の直径数ナノメーターの領域のみに電導性の下地6が露出した先端極限化探針が作成できる。
Claim (excerpt)：
電導性針状試料を絶縁膜で被覆した後、針先端部の絶縁膜に高電圧を印加し電界蒸発させ、電導性試料表面の極微小領域のみを針先端で露出させることを特徴とする探針先端極限化法。
IPC (2)：
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