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J-GLOBAL ID:200903003273700085

薄型水晶振動子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999070594
Publication number (International publication number):2000269775
Application date: Mar. 16, 1999
Publication date: Sep. 29, 2000
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】直接接合の強度を十分にして励振電極を導出し得る薄型振動子を提供する。【解決手段】一部が重畳する凹部4を対向面側に設けてなる珪素を主成分とした一対の蓋体2と、この一対の蓋体間に光学的接合によって積層される水晶片3からなり、前記一対の蓋体にはそれぞれ前記凹部4に連通する貫通孔6を有し、貫通孔6には水晶片3の励振電極5と電気的に接続して貫通孔6を封止する導電接合材を埋設した構成とする。水晶片3は2枚の蓋体2の間に挟んで光学的に接合する。
Claim (excerpt):
少なくとも一部が重畳する凹部を対向面側に設けてなる珪素を主成分とした一対の蓋体と、前記一対の蓋体との間に光学的接合によって積層される水晶片とからなり、前記一対の蓋体にはそれぞれ前記凹部に連通する貫通孔を有し、前記貫通孔には前記水晶片の励振電極と電気的に接続して該貫通孔を封止する導電接合材を埋設したことを特徴とする薄型水晶振動子。
IPC (2):
H03H 9/19 ,  H03H 9/02
FI (3):
H03H 9/19 A ,  H03H 9/02 A ,  H03H 9/02 L
F-Term (10):
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG14

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