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J-GLOBAL ID：200903003273889846

離型層形成方法及び離型層形成装置

Inventor： 由尾 啓 ,  鈴木 正敏 ,  白鷺 俊彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ソニー・ディスクテクノロジー
Agent (1)： 小松 祐治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995351391
Publication number (International publication number)：1997180272
Application date： Dec. 26, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 光ディスク製造工程において、離型層の形成に廃水の処理が容易なオゾン水を使用する。【解決手段】 メタルマスター2からマザー3を剥離するため及びマザー3からスタンパー4を剥離するための離型層2a、3aを形成するパッシベーション14、17にオゾンを純水中に溶解させたオゾン水25を用いるようにした。

Claim (excerpt)：

光ディスクの製造工程において、メタルマスターからマザーを剥離するため及びマザーからスタンパーを剥離するための離型層を形成するパッシベーションにオゾンを純水中に溶解させたオゾン水を用いたことを特徴とする離型層形成方法。

IPC (5)：

G11B 7/26 511 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  B05D 5/00 ,  B05D 7/24 302

FI (5)：

G11B 7/26 511 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 5/00 A ,  B05D 7/24 302 A