圧力、歪み及び温度の同時測定装置、同時測定方法及び薄膜センサ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：伊藤洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998286740
Publication number (International publication number)：2000111368
Application date： Oct. 08, 1998
Publication date： Apr. 18, 2000
Summary：

【要約】【目的】薄膜センサの構造や圧力、歪及び温度の測定方法に工夫を凝らして、圧力、歪及び温度の同時測定を精度よく行うようにした圧力、歪及び温度の同時測定装置、同時測定方法及び薄膜センサを提供することを目的とする。【解決手段】薄膜センサSは、被測定対象の測定部位に設けられるガラス基板上に互いに近接して設けられた4つの薄膜ゲージを備え、当該薄膜ゲージの各々の感温係数、感圧係数、X軸方向感歪係数及びY軸方向感歪係数を各薄膜ゲージの間で異ならしめる。演算回路Eは、各薄膜ゲージ毎の抵抗変化率と測定部位の温度変化、圧力変化、X軸方向歪変化及びY軸方向歪変化との間の関係式を表す連立方程式の解を各薄膜ゲージの出力に基づき算出する。

Claim (excerpt)：

被測定対象の測定部位に設けられる基板(10)と、この基板上に互いに近接して設けられた第1乃至第4の薄膜ゲージ(20a乃至20h)とを備えて、当該第1乃至第4の薄膜ゲージの各々の感温係数、感圧係数、X軸方向感歪係数及びY軸方向感歪係数が前記第1乃至第4の薄膜ゲージの間で異なる薄膜センサ(S)と、ΔT、ΔP、ΔSx及びΔSyをそれぞれ前記測定部位の温度変化、圧力変化、X軸方向歪変化及びY方向歪変化とし、αa、βa、γa及びηaを、それぞれ、前記第1薄膜ゲージの前記温度変化、圧力変化、X軸方向歪変化及びY方向歪変化に対する感温係数、感圧係数、X軸方向感歪係数及びY軸方向感歪係数とし、αb、βb、γb及びηbを、それぞれ、前記第2薄膜ゲージの前記温度変化、圧力変化、X軸方向歪変化及びY軸方向歪変化に対する感温係数、感圧係数、X軸方向感歪係数及びY軸方向感歪係数とし、αc、βc、γc及びηcを、それぞれ、前記第3薄膜ゲージの前記温度変化、圧力変化、X軸方向歪変化及びY軸方向歪変化に対する感温係数、感圧係数、X軸方向感歪係数及びY軸方向感歪係数とし、また、αd、βd、γd及びηdを、それぞれ、前記第4薄膜ゲージの前記温度変化、圧力変化、X軸方向歪変化及びY軸方向歪変化に対する感温係数、感圧係数、X軸方向感歪係数及びY軸方向感歪係数としたとき、次の数1の4つの関係式【数1】ΔRa/Rao=αa・ΔT+βa・ΔP+γa・ΔSx+ηa・ΔSyΔRb/Rbo=αb・ΔT+βb・ΔP+γb・ΔSx+ηb・ΔSyΔRc/Rco=αc・ΔT+βc・ΔP+γc・ΔSx+ηc・ΔSyΔRd/Rdo=αd・ΔT+βd・ΔP+γd・ΔSx+ηd・ΔSyからなる連立一次方程式の各解を前記第1乃至第4の薄膜ゲージの各出力に応じて温度、圧力、X軸方向歪及びY軸方向歪として算出する算出手段(E)とを備える圧力、歪み及び温度の同時測定装置。

IPC (5)：

G01D 21/02 , G01B 7/16 , G01K 7/18 , G01L 1/22 , G01L 9/04 101

FI (5)：

G01D 21/02 , G01K 7/18 B , G01L 1/22 M , G01L 9/04 101 , G01B 7/18 B

F-Term (35)：

2F049AA12 , 2F049CA04 , 2F049CA07 , 2F049DA04 , 2F049DA06 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD07 , 2F055EE12 , 2F055FF02 , 2F055FF11 , 2F055FF25 , 2F055GG01 , 2F055GG11 , 2F055GG32 , 2F055GG35 , 2F063AA25 , 2F063BA02 , 2F063BA03 , 2F063CB01 , 2F063CC01 , 2F063DD08 , 2F063EC03 , 2F063EC05 , 2F063EC14 , 2F063EC27 , 2F063EC28 , 2F063FA12 , 2F076BA01 , 2F076BD01 , 2F076BD07 , 2F076BD10 , 2F076BD11 , 2F076BE09

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